Equivalent Oxide Thickness

L'equivalent oxide thickness (« épaisseur d'oxyde équivalente » en anglais) ou EOT, généralement exprimée en nanomètres (nm), est l'épaisseur d'une couche de SiO 2 {\displaystyle {\ce {SiO2}}} offrant les mêmes propriétés électriques qu'une couche de matériau …